برترین کاربران هفتگی این مقاله

از ۱۳۹۸/۰۹/۱۶ تا ۱۳۹۸/۰۹/۲۲

ضمائم مقاله
مقالات مرتبط
اخبار مرتبط
آمار مقاله
  • بازدید کل ۶۸,۴۷۳
  • بازدید این ماه ۳۱۰
  • بازدید امروز ۶
آمار آزمون مقاله
  • کل شرکت کنندگان ۱,۴۶۷
  • قبول شدگان ۱,۲۳۳
  • شرکت کنندگان یکتا ۵۶۳
  • میانگین درصد شرکت کنندگان ۷۷
واژه نامه فناوری نانو

نانو

nano

پيشوندي به معناي يک بيليونم يا (000،000،000،1/1). در متون فناوري‌نانو، معمولا براي مشخص کردن يک واحد اندازه‌گيري برابر با 10 به توان منفي 9 متر استفاده مي‌شود.

سطح مقاله

پیشرفته 1

نویسندگان
کلمات کلیدی
امتیاز کاربران

اجزا و عملکرد SEM: تفنگ الکترونی و لنزهای ‌الکترومغناطیس

در مقاله گذشته به معرفی میکروسکوپ الکترونی روبشی به عنوان یکی از روش‌های قدرتمند آنالیز مواد پرداخته شد. در این مقاله و در ادامه بحث، به بررسی اجزا و عملکرد این دسته از میکروسکوپ‌ها پرداخته خواهد شد. به طور کلی SEM دارای شش جز اصلی است که عبارتند از: تفنگ الکترونی، لنزهای ‌الکترومغناطیسی، سیستم روبش، آشکارسازها، سیستم نمایش تصویر و سیستم خلأ. در این بخش دو مورد اول شرح داده خواهند شد. در میکروسکوپ‌های SEM، تفنگ‌های الکترونی جهت تولید پرتوی الکترونی استفاده می‌شوند. این تفنگ‌ها بر مبنای نشر ترمویونیک یا نشر میدانی عمل می‌کنند و از جنس تنگستن یا هگزا براید لانتانم هستند. از آن جا که پرتوی مورد استفاده در SEM از نوع الکترونی است، لنزهای الکترومغناطیس جهت باریک کردن و متمرکز کردن آن‌ها به کار می‌روند. لنزهایی که در SEM استفاده می‌شوند بر دو نوع متمرکزکننده و نهایی هستند که هر یک با هدف خاصی در دستگاه تعبیه می‌شوند.

 

1- مقدمه

برای کار با میکروسکوپ الکترونی به محیط خلأ نیاز است. به همین دلیل پس از قرار دادن نمونه در محفظه، اتمسفر داخل ستون میکروسکوپ به کمک پمپ‌های موجود به خلأ مناسب می‌رسد. وقتی که خلأ مورد نیاز حاصل شد، پرتوی الکترونی تولید و توسط لنزهای الکترومغناطیسی، باریک و روی نمونه متمرکز می‌شود. در حقیقت پرتوی الکترونی بر روی نمونه روبش می‌شود (scan) تا از نقاط مختلف آن اطلاعات به دست آید. در نتیجه برخورد پرتوی الکترونی با نمونه، سیگنال‌های مناسب تولید می‌شوند که توسط آشکارسازها دریافت و در نهایت به تصویر یا دیگر اطلاعات مورد نظر تبدیل می‌شوند. با توجه به این خلاصه عملکرد، درمی‌یابیم که یک میکروسکوپ SEM از اجزای زیر تشکیل یافته است [1،2]:

1- تفنگ الکترونی
2- لنزهای ‌الکترومغناطیسی
3- سیستم روبش
4- آشکارسازها (سیستم جمع‌آوری و تقویت سیگنال)
5- سیستم نمایش تصویر
6- سیستم خلأ
شکل 1 اجزای یک SEM را نشان می‌دهد. در ادامه به شرح این اجزا پرداخته خواهد شد که در واقع به نوعی، بیانگر نحوه عملکرد دستگاه نیز هست.
filereader.php?p1=main_ec6ef230f1828039e
شکل 1 - طرح کلی یک میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM ا[3]

2- جز اول SEM: تفنگ الکترونی
اولین قسمتی که مشخصات پرتوی الکترونی را رقم می‌زند، محل تولید آن یعنی تفنگ الکترونی (Electron Gun) است. به بیان دیگر، تفنگ الکترونی منبع نسبتاً پایداری از الکترون است که پرتو الکترونی را ساطع می‌کند. تفنگ‌های الکترونی از نظر مکانیزم به دو دسته تقسیم می‌شوند [1،2]:

1- تفنگ‌های الکترونی نشر حرارتی (Thermoionic Guns) که بر مبنای پدیده ترمویونی عمل می‌کنند. در این نوع، با گرم شدن تفنگ تا دمایی بسیار بالا، درصد معینی از الکترون‌های آن به سطح مشخصی از انرژی می‌رسند و می‌توانند سطح آن را ترک کنند.
2- تفنگ‌های الکترونی نشر میدانی (Field Emission Guns) که از پدیده تونلی جهت تولید الکترون استفاده می‌کنند. در این نوع تفنگ الکترونی، سطح تحت یک ولتاژ بسیار بالا قرار می‌گیرد و الکترون‌ها می‌توانند سطح آن را ترک کنند، بدون آن که نیاز به اعمال انرژی تابع کاری ترمویونی باشد. قدرت تولید این فیلامان‌ها بسیار بیشتراز فیلامان‌های ترمویونی است.
بر همین مبنا، سه نوع فیلامان تجاری به عنوان تفنگ الکترونی استفاده می‌شوند که عبارتند از [1،4]:
1- فیلامان تنگستن سنجاق سری؛
2- فیلامان لانتانم هگزا براید (LaB6)؛
3- فیلامان نشر میدانی (FEG).
شکل 2 تصویر این سه نوع فیلامان را نشان می‌دهد.
 
filereader.php?p1=main_666b0d9463bc81c6e
filereader.php?p1=main_90a9f3b45369dae98
شکل 2– تصویر فیلامان‌های تجاری رایج. ملاحظه می‎شود که فیلامان تنگستنی سنجاق سری به علت گرم شدن بیش از حد ذوب شده است که محل ذوب‌شدگی و قطره ذوب و منجمد شده قابل مشاهده  هستند [5،6].

1-2- تفنگ‌های با فیلامان تنگستنی
بهترین گزینه در استفاده از پدیده ترمویونی، استفاده از ماده‌ای است که اولاً نقطه ذوب بسیار بالایی داشته باشد تا شکل و مشخصات مکانیکی خود را تا دمای انتشار الکترون حفظ کند. ثانیاً، تابع کاری ترمویونی پایینی داشته باشد تا در دمای نسبتاً کمتری شروع به انتشار الکترون کند. به همین دلیل از تنگستن استفاده می‌شود؛ تنگستن با نقطه  ذوب بالا (K 3653) و تابع کاری مشابه اغلب فلزات (Ew برابر با 4.5 الکترون ولت) رایج‌ترین ماده برای استفاده در سازه‌های تولید الکترون است. با این وجود، در صورت استفاده از هگزا براید لانتانم با تابع کاری برابر با 0.3 الکترون ولت قدرت تولید الکترون تا 10 برابر افزایش پیدا می‌کند.
فیلامان تنگستن سنجاق سری به شکل V شکل است و شعاع نوک آن حدود 100 میکرومتر است که به عنوان کاتد تولیدکننده الکترون در بالای ستون میکروسکوپ نصب می‌شود. دمای کاری فیلامان در هنگام انتشار الکترون حدود K 2700 است. الکترون‌های به دست آمده از فیلامان (کاتد)، با استفاده از اختلاف پتانسیلی معادل 1000 تا 50000 ولت، به سمت آند شتاب داده می‌شوند. شماتیک این نوع تفنگ الکترونی در شکل 3 نشان داده شده است. قسمت دربر گیرنده یا همان نگهدارنده فیلامان به صورت یک کلاهک شبکه‌ای (Grid Cap) یا به صورت استوانه فلزی است که به آن اصطلاحاً وهنلت (Wehnelt cylinder) گفته می‌شود. این نگهدارنده دارای یک روزنه مرکزی است که دقیقاً مقابل نوک فیلامان قرار می‌گیرد. وهنلت نسبت به کاتد (= فیلامان) در یک ولتاژ منفی مختصر نگه داشته می‌شود تا الکترون‌های ایجاد شده در فیلامان را به خارج از محفظه نگهدارنده دفع کند. ولتاژ منفی به صورت بایاس (متغیر بر حسب شرایط) و با مقادیر صفر تا 500 ولت اعمال می‌شود. با این روش، پرتو به صورت همگرا با یک نقطه همگرایی تولید می‌شود.
filereader.php?p1=main_7bc3ca68769437ce9
شکل 3– شماتیک تفنگ الکترونی فیلامان تنگستنی [1]

با افزایش جریان فیلامان (if)، گرم شدن و رخداد پدیده ترمویونی، الکترون تولید می‌شود. رابطه جریان فیلامان با جریان انتشار الکترون (ib) (در شرایطی که مقاومت بایاس به درستی تنظیم گردد) در شکل 4 نمایش داده شده است. ملاحظه می‌شود که با افزایش جریان فیلامان، جریان انتشار الکترون افزایش می‌یابد و به یک حد اشباع می‌رسد. دلیل این پدیده این است که با افزایش جریان فیلامان از مقدار مورد نیاز برای انتشار الکترون، ولتاژ بایاس نیز افزایش می‌یابد و گرادیان میدان منفی در اطراف فیلامان شدت گرفته و با بازگشت الکترون‌ها به سمت فیلامان، انتشار الکترون (ib) از آن را محدود می‌سازد. جریان فیلامان اشباع، بهترین شرایط کاری برای فیلامان است که در آن، پرتوی الکترونی تولیدی از پایداری مناسب برخوردار است [1].

filereader.php?p1=main_13207e3d5722030f6
شکل 4– رابطه جریان فیلامان (if) با جریان انتشار الکترون (ib) در شرایط تنظیم مناسب مقاومت بایاس [1]

2-2- تفنگ‌های با فیلامان لانتانم هگزابراید
در این نوع تفنگ‌ها، تک کریستالی از جنس لانتانم هگزا براید نقش کاتد را بر عهده دارد. این تک کریستال به شکل مفتولی به قطر یک میلیمتر مربع و طول 1.6 سانتی‌متر تولید و نوک آن تا قطر 10 میکرون تیز می‌شود (شکل 2). در این نوع کاتد، نسبت چگالی جریان انتشار الکترون به نرخ تبخیر فیلامان بسیار بالاتر از فیلامان‌های تنگستنی است. با این حال کار کردن با فیلامان‌های LaB6 با مشکلاتی همراه است که اصلی‌ترین آن‌ها عبارتند از:

1- نیاز به خلأ بالاتر که به حدود 10 برابر خلأ کاری فیلامان‌های تنگستنی می‌رسد؛
2- عدم امکان گرم کردن مستقیم ترکیب LaB6. این در حالی است که در فیلامان‌های تنگستنی، رشته سیم تنگستنی مستقیماً با عبور جریان الکتریکی گرم می‌شود.
روش‌های مختلفی جهت گرم کردن کاتد LaB6 وجود دارد که از جمله معروف‌ترین روش‌های آن، قرار دادن مفتول LaB6 در لایه‌ای از جنس گرافیت یا لانتانم براید است که این نوار به عنوان واسط حرارتی فیلامان عمل می‌کند. سپس این مجموعه به پایه‌های اتصال الکتریکی متصل می‌شوند.
روشنایی با افزایش درجه حرارت فیلامان و کاهش تابع کار ترمویونی آن افزایش می‌یابد. نکته مهم در مورد تفنگ‌های LaB6، تابع کار ترمویونی آن‌هاست که در حدود یک پانزدهم مقدار مربوط به تنگستن است. از این‌رو LaB6 می‌تواند در دمای کاری پایین‌تری (حداکثر  2000 درجه کلوین) تا 10 برابر فیلامان‌های تنگستنی ترمویونی، روشنایی داشته باشد. درست به همین علت است که با وجود مشکلات کاربردی موجود، هنوز اهمیت و بازار اقتصادی خود را به عنوان فیلامانی قوی‌تر از فیلامان‌های تنگستنی حفظ کرده است. دانشمندان نشان داده‌اند با توجه به دمای کاری پایین‌تر فیلامان‌های LaB6، چگالی جریان انتشار بالا و تابع کار ترمویونی بسیار کم آن، امکان رسیدن به عمر کاری 1000 ساعت به خوبی فراهم است، در حالی که عمر کاری فیلامان‎های تنگستنی به صورت تجاری حدود 200 ساعت اعلام شده است. علاوه بر این، به دلیل ریزتر بودن شعاع نوک فیلامان LaB6 و روشنایی و چگالی جریان انتشار بالای آن، امکان کاهش عمده شعاع نقطه همگرایی و در نتیجه کاهش قطر پرتوی الکترنی به 30 تا 50 آنگستروم وجود دارد. بنابراین این نوع تفنگ‌ها، در میکروسکوپ‌هایی که قدرت تفکیک بالایی دارند و میکروآنالیز دقیق انجام می‌دهند، استفاده می‌شوند [1].

3-2- تفنگ‌های نشر میدانی
تصویر این نوع تفنگ الکترونی در شکل 2 و 5 نشان داده شده است. در این نوع تفنگ، دو آند تعبیه شده است. به اولین آند (آند استخراج‌کننده) ولتاژ مثبت V1 اعمال می‌گردد و نقش کنترل‌کننده جریان انتشار را ایفا می‌کند. به همین ترتیب، به آند دوم ولتاژ V0 اعمال می‌شود که این ولتاژ تعیین‌کننده انرژی نهایی پرتوی الکترونی است. شکل این آندها طوری طراحی می‌شود که امکان گرفتن (جذب) میدان ضعیف و ناچیز اطراف روزنه الکترودها را داشته باشد.
filereader.php?p1=main_ed92eff813a02a31a
شکل 5– شماتیکی از تفنگ الکترونی نشر میدانی [1]

قطر پرتوی الکترونی در این تفنگ‌ها به شدت وابسته به نسبت ولتاژ دو آند تفنگ بوده و به صورت تئوری محاسبه می‌شود. به طور مثال اگر نسبت ولتاژ آند اول به آند دوم 12 باشد، قطر پرتوی الکترونی معادل 2-10 میکرون به دست می‌آید که این مقدار در عمل به 2-10×2.5 میکرون می‌رسد. نشان داده شده است که پرتویی با این مشخصات، دارای روشنایی معادل صد تا هزار برابر روشنایی پرتوی تولید شده در تفنگ‌های ترمویونی فیلامان تنگستنی است.
پرتوی الکترونی تولید شده در یک تفنگ الکترونی نشر میدانی از کیفیت بالایی برخوردار است، اما باید در نظر داشت که این تفنگ‌ها به خلأ کاری بالایی نیاز دارند که کار کردن با آن‌ها را مشکل می‌کند. دانشمندان برای حل این مشکل راه حلی پیشنهاد کردند که طبق آن به جای استفاده از پدیده تونلی در خلأ بالا یا استفاده از پدیده گسیل ترمویونی در دمای بالا، از مجموع دو پدیده در شرایط بهینه استفاده شود. این طرح زمینه‌ساز تولید تفنگ‌هایی تحت عنوان «تفنگ‌های نشر حرارتی - میدانی» گردید. مشخص شده است که شرایط کاری بهینه برای این تفنگ‌ها، دمای 1800 درجه کلوین و و فشار 9-10 تور است. این تفنگ‌ها با نام سازنده آن‌ها یعنی تفنگ‌های اسکاتیک یا «تفنگ‌های انتشار میدانی داغ» شناسایی می‌شوند. شایان ذکر است که فیلامان تفنگ‌های اسکاتکی معمولاً دارای پوششی از جنس اکسید زیرکونیم است که با افزایش دمای کاری شرایط محافظتی بهتری را فراهم می‌کند. در جدول 1 می‌توان مشخصات مختلف تفنگ‌های الکترونی را با هم مقایسه کرد.

جدول 1 - مشخصات تفنگ‌های الکترونی [1]
filereader.php?p1=main_83f1535f99ab0bf4e
 
3- جز دوم SEM: لنزهای الکترومغناطیسی
اصلی‌ترین اجزای ستون الکترون - اپتیک SEM، لنزهای مغناطیسی آن هستند که تحت خلأ کار می‌کنند. در این لنزها، بر خلاف لنزهای شیشه‌ای، پرتوی ورودی تحت اثر هیچ محیط مادی قرار نمی‌گیرد و کلیه تغییراتی که در آن ایجاد می‌شود ناشی از میدان‌های الکترومغناطیسی ایجاد شده توسط سیم پیچ‌هاست. تغییر جهت و تمرکز الکترون‌ها در میکروسکوپ‌های الکترونی تنها توسط میدان‌های الکترومغناطیسی سیم پیچ‌ها انجام می‌گیرد و اطلاق نام لنز به آن‌ها تنها برای درک بهتر مطلب بوده و هیچ مشابهتی بین لنزهای صلب شیشه‌ای با مشخصات ثابت و سیم پیچ‌ها با مشخصات کاملاً قابل کنترل وجود ندارد.
معمولاً دو نوع لنز در ستون وجود دارد که هر یک خود می‌تواند شامل مجموعه‌ای از لنزها باشد. این لنزها عبارتند از:
1- لنزهای متمرکزکننده
2- لنز نهایی
هدف اصلی از کاربرد این دو لنز در ستون اپتیکی SEM، کاهش قطر پرتو و افزایش تراکم آن است، به طوری که قطر آن از مقدار اولیه 100-25 میکرون (در تفنگ الکترونی) به قطر بسیار کم 50 آنگستروم تا 1 میکرومتر (بر حسب نیاز) کاهش پیدا کند.

1-3- لنزهای مغناطیسی متمرکزکننده
برای ایجاد یک میدان مغناطیسی با قدرت، اندازه و شکل مناسب، معمولاً از یک سیم پیچ تنگستنی با دورهای زیاد استفاده می‌شود. هسته سیم پیچ از آهن نرم و به شکل استوانه انتخاب می‌شود. هسته سیم پیچ، یک شکاف بسیار کوچک دارد که بسیار دقیق تراشکاری شده و میدان مغناطیسی در عرض آن تشکیل می‌شود. عبور جریان‌های متفاوت از سیم پیچ که معمولاً بین صفر تا 1 آمپر تغییر می‌کند، منجر به تغییر قدرت میدان مغناطیسی می‌شود. اساس کار لنزهای مغناطیسی، یک اصل فیزیکی بسیار ساده است: «اعمال نیروی میدان مغناطیسی بر الکترون باردار متحرک». بنابراین چنان چه الکترونی با سرعت v در یک میدان مغناطیسی با شدت H حرکت کند، نیروی اعمال شده از طرف میدان برابر F خواهد بود. چون سرعت الکترون، قدرت میدان و نیروی وارد شده از طرف آن، کمیت‌هایی برداری هستند (یعنی علاوه بر مقدار، جهت آن‌ها هم مهم است)، رابطه بین این سه کمیت به صورت برداری مطرح می‌شود:
 
filereader.php?p1=main_cda522d4353b166cc
 
که در آن e بار الکترون، v سرعت الکترون و H قدرت میدان است. با توجه به قانون دست راست فیزیک، به راحتی می‌توان جهت اعمال نیرو از میدان مغناطیسی بر الکترون در حال حرکت را تعیین کرد. در شکل 6 شماتیکی از سطح مقطع لنز مغناطیسی استوانه‌ای نشان داده شده است.
filereader.php?p1=main_c6c27fc98633c8257
شکل 6– شماتیکی از سطح مقطع لنز مغناطیسی متمرکزکننده که به صورت استوانه‌ای بوده و از نظر شدت و سایر مشخصات نسبت به محور اپتیکی متقارن است [1].
 
از شکل 6 مشخص است که میدان مغناطیسی موازی با جهت حرکت الکترون‌ها و به طور دقیق‌تر موازی با جهت حرکت الکترون‌ها نزدیک به محور اپتیکی ستون الکترون- اپتیک میکروسکوپ است. قدرت میدان مغناطیسی (شدت میدان مغناطیسی) متناسب با حاصل ضرب تعداد دور سیم پیچ‌های القاگر (N) در جریان الکتریکی عبورکننده از لنز (I) است. «فاصله کانونی» لنز (f) عبارت است از فاصله نقطه‌ای که پرتوی الکترونی با محور اپتیکی موازی است تا نقطه‌ای که پرتو پس از عبور از لنز، محور اپتیکی را قطع می‌کند. فاصله کانونی در شکل 6 با Of مشخص شده است. هر چه فاصله کانونی کمتر باشد، لنز قوی‌تر است و پرتوی ورودی به لنز را زودتر متمرکز می‌سازد. فاصله کانونی و میزان کاهش قطر پرتو به قدرت و شکل میدان مغناطیسی بستگی دارند. قدرت میدان مغناطیسی نیز بستگی به جریانی دارد که از سیم پیچ عبور می‌کند. این جریان بین صفر تا یک آمپر متغیر است. بنابراین می‌توان فاصله کانونی لنز را طبق رابطه زیر تنظیم کرد. این در حالی است که در میکروسکوپ‌های نوری، برای تغییر فاصله کانونی باید لنز را عوض کرد:

filereader.php?p1=main_8c6d22ff6f63fc671
که در آن f فاصله کانونی، K مقدار ثابت، N تعداد حلقه‌های سیم پیچ و I شدت جریان عبوری از لنز است. بنابراین کار کردن با لنزها بسیار ساده است، زیرا با تغییر جریان عبوری از لنز به راحتی می‌توان عمق تمرکز لنز را طوری تنظیم کرد که پرتوی الکترونی بر روی سطح نمونه متمرکز و به مقدار کافی نیز متمرکز شده باشد. لنزهای مغناطیسی متمرکزکننده بر حسب نیاز و قدرت میکروسکوپ الکترونی، ممکن است به صورت منفرد یا دوتایی به کار برده شوند.

2-3- لنز نهایی
مبانی روش کار لنز نهایی مشابه اصولی است که در رابطه با لنز مغناطیسی متمرکزکننده بیان شد. بخش عمده کاهش قطر پرتوی الکترونی در لنز نهایی اتفاق می‌افتد. لنز نهایی، آخرین بخش عملگر امتداد ستون اپتیکی است و تنها قطعه موجود بعد از لنز نهایی در ستون، روزنه نهایی یا روزنه محدودکننده است. این روزنه، یک کنترل‌کننده قطر بوده و تغییر چندانی در پرتو به وجود نمی‌آورد.
لنز نهایی به صورت مخروطی طراحی می‌شود (شکل 7). این نوع طراحی مزایای زیر را به همراه دارد:
1- پرتوهایی که پس از خروج از لنز متمرکزکننده، هنوز دور از محور اپتیکی هستند، امکان ورود به لنز نهایی را دارند. این امر منجر به افزایش قابل توجه بازده نهایی مخروطی، نسبت به سایر شکل‌های فضایی می‌گردد؛
2- ناحیه‎ای از لنز که بر پرتوی الکترونی مؤثر است، در انتهای خارجی لنز قرار می‌گیرد. همین امر موجب می‌شود که کاهش قطر ناشی از تأثیر لنز نهایی، در پرتوی ارسال شده به سمت نمونه حفظ شود؛
3- مسأله تأثیرگذاری میدان مغناطیسی لنز نهایی بر پرتوهای انتشار یافته از سمت نمونه (پس از برخورد پرتوی الکترونی) به حداقل خود می‌رسد. همچنین از قرار گرفتن قسمت‌هایی از بدنه لنز نهایی در مسیر پرتوی X جلوگیری می‌کند.
 
filereader.php?p1=main_46d46a759bf6cbed0
شکل 7– شماتیک ساده‌ای از لنز نهایی [1]

4- بحث و نتیجه‌گیری
تولید پرتوی الکترونی در SEM در قسمت تفنگ الکترونی اتفاق می‌افتد و مکانیزم عملکرد آن‌ها می‌تواند نشر ترمویونی یا نشر میدانی باشد. تنگستن به دلیل نقطه ذوب بالا و تابع کار کم، رایج‌ترین فیلامان در تفنگ الکترونی است. لانتانم هگزا براید به دلیل تابع کار کمتر، دمای کاری پایین‌تر و چگالی جریان انتشار بالاتر در تفنگ‌های الکترونی استفاده می‌شود. با این وجود، این نوع فیلامان نسبت به فیلامان تنگستنی گران‌تر بوده و به خلأ کاری بالاتری نیاز دارد. تفنگ‎های نشر میدانی از روشنایی و کیفیت بالاتری نسبت به تفنگ‌های نشر ترمویونیک برخوردارند. پرتوی الکترونی تولید شده در تفنگ‌های الکترونی با استفاده از لنزهای مغناطیسی متراکم و باریک  می‌شود. با استفاده از مقدار جریان ورودی به این لنزها به راحتی می‌توان قدرت آن‌ها را تنظیم کرد.
در فیلم زیرتوضیحاتی در رابطه با اجزای میکروسکوپ SEM شامل تفنگ‌های الکترونی و انواع فیلامان‎ها در تفنگ الکترونی و لنزهای مغناطیسی ارائه شده است.

منابـــع و مراجــــع

1. م. کرباسی، "میکروسکوپ الکترونی روبشی و کاربردهای آن در علوم مختلف و فناوری نانو"،چاپ اول، اصفهان: جهاد دانشگاهی واحد صنعتی اصفهان،(1388).

2. پ. مرعشی، س. کاویانی، ح. سرپولکی و ع. ذوالفقاری،" اصول و کاربرد میکروسکوپ-های الکترونی و روش¬های نوین آنالیز - ابزار شناسایی دنیای نانو"،ویرایش دوم. چاپ دوم، تهران: دانشگاه علم و صنعت ایران،(1389).

3. http://nspinosa2008.wikispaces.com/.

4. ی. خرازی و ا. ش. غفور،"ابزار شناسایی ساختار مواد"،چاپ اول، تهران: دانشگاه علم و صنعت ایران،(1380).

5. http://www.ammrf.org.au/myscope/images/sem/gun_parts.png

6. Zhou, W., Wang, Z. L. (Editors), “Scanning Microscopy for Nanotechnology - Techniques and Applications”, New York: Springer, (2006).

نظرات و سوالات

نظرات

3 0

فاطمه کردحقی - ‏۱۳۹۳/۰۲/۱۵

چند رسانه ای 1 کجاست؟ لطفا یه جایی بذارید که بشه پیداش کرد

پاسخ مسئول سایت :
با سلام
مشکل برطرف شد. این متن به اشتباه قرار گرفته بود.
موفق باشید.
4 0

علی اکبر ابری - ‏۱۳۹۳/۰۱/۳۰

عالی

7 0

نجیبا سودی - ‏۱۳۹۲/۱۲/۰۹

در مزایای طراحی مخروطی لنز نهایی نوشته اید :

مسأله ی تأثیرگذاری میدان مغناطیسی لنز نهایی بر پرتوهای انتشار یافته از سمت نمونه (پس از برخورد پرتوی الکترونی) به حداقل خود می رسد

چرا طراحی مخروطی این تاثیر رو داره ؟

ممنون